Logosol寻边器,LPA812-3独立式晶圆预对准器,LPA812-3-V76P1-S23-S-V500P-NE

Logosol LPA812-3 是一款高度集成、独立运行的晶圆预对准器，专为 200mm 和 300mm 晶圆设计。它采用“一体化”架构，将传统方案中独立的控制器、驱动电路与通信模块全部集成于本体内部，显著简化了系统集成与维护工作。该设备适用于透明、半透明及不透明晶圆，并支持方形基片，…