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300mm 斯托克斯晶圆扫描™椭偏仪型号 LSE-WS 斯托克斯晶圆扫描椭偏仪是一款用于薄膜厚度分布成像的系统，测量速度可达每秒一个点位（包含样品台移动时间）。它采用斯托克斯计量技术，可在最大 300mm 的晶圆上提供免倾斜调整、免对焦操作的二维/三维厚度与折射率分布图。该仪器设…
多波长激光椭偏仪使用户在测量透明与半透明薄膜的厚度和折射率时具有灵活性与准确性。激光光源强度充足，可提升对吸收性薄膜和粗糙散射薄膜的测量精度。激光光源还具备光谱精确、稳定、使用寿命长的优势。独立的激光光源提供了重要的备份可靠性，适用于连续运行。产品特点测量厚…
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