美国Gaertner Scientific Stokes Waferskan晶圆扫描式椭偏仪LSE-WS

300mm 斯托克斯晶圆扫描™椭偏仪

型号 LSE-WS 斯托克斯晶圆扫描椭偏仪是一款用于薄膜厚度分布成像的系统，测量速度可达每秒一个点位（包含样品台移动时间）。它采用斯托克斯计量技术，可在最大 300mm 的晶圆上提供免倾斜调整、免对焦操作的二维/三维厚度与折射率分布图。该仪器设计注重操作效率，测量响应迅速。

特点

• 采用斯托克斯计量测量头，无移动部件。

• 可测量完整的偏振态。

• 使用激光椭偏技术进行测量。

• 支持快速的薄膜测量。

• 针对同类晶圆，支持自动测量操作。

• 设计为结构紧凑的台式仪器。

精度与性能

LSE-WS 型号基于盖尔特纳晶圆扫描椭偏仪系列设计。适用于从数十埃厚的栅氧化层到较厚的聚酰亚胺和光刻胶等多种薄膜的测量。

可测量氧化物、氮化物和光刻胶等薄膜。支持测量薄膜厚度、薄膜折射率、Psi 和 Delta 值。对于已知底层的多层薄膜结构，可测量其顶层或指定层的厚度与折射率。提供基于 Windows™ 的配套软件。

图形显示功能

测量结果可在计算机显示器上显示，并可输出至打印机。数据结果支持以二维等高线图或三维分布图形式呈现。图像可进行旋转、视角调整及缩放操作，以便查看分析。