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Logosol预对准器独立式,LPA,独立边缘处理预对准器，适用于200mm晶圆,减小接触的边缘处理预对准器，适用于200mm晶圆,对准能力：标准200mm晶圆，200mm平晶圆，透明及半透明基板,接触区：边缘接触，接触宽度为1mm,减小接触的边缘处理预对准器能够容忍更大的初始偏移量（最多可达6m…
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