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Logosol预对准器独立式,LPA,独立边缘处理预对准器,适用于200mm晶圆,减小接触的边缘处理预对准器,
适用于200mm晶圆,对准能力:标准200mm晶圆,200mm平晶圆,透明及半透明基板,
接触区:边缘接触,接触宽度为1mm,减小接触的边缘处理预对准器能够容忍更大的初始偏移量(最多可达6mm)。
美国Logosol LPA26-3晶圆预对准器规格

Logosol独立预对准器 晶圆预对准器 LPA26-3尺寸

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