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美国 Logosol LPA系列预对准器 晶圆处理-深圳湾边进口Logosol LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE减少了接触边缘处理功能。适用于 150mm 晶圆的预对准器。对准能力：标准 150mm 晶圆、150mm 平板、透明及半透明基板接触区域:边缘接触，光斑宽度为1毫米
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