美国Logosol LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE

美国 Logosol LPA系列预对准器 晶圆处理-深圳湾边进口

Logosol LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE

减少了接触边缘处理功能。适用于 150mm 晶圆的预对准器。对准能力：标准 150mm 晶圆、150mm 平板、透明及半透明基板

接触区域:

边缘接触，光斑宽度为1毫米

接触边缘处理预对准器对所交付晶圆的初始偏移量容忍度有所提高（最高可至 6 毫米）

美国Logosol LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE晶圆预对准器规格

Logosol LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE尺寸