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300mm 斯托克斯晶圆扫描™椭偏仪型号 LSE-WS 斯托克斯晶圆扫描椭偏仪是一款用于薄膜厚度分布成像的系统,测量速度可达每秒一个点位(包含样品台移动时间)。它采用斯托克斯计量技术,可在最大 300mm 的晶圆上提供免倾斜调整、免对焦操作的二维/三维厚度与折射率分布图。该仪器设…
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