StrataVac 冷阴极/皮拉尼组合传感器 | 超高真空计

DigiVac 的 StrataVac 超高真空计组合配备冷阴极/皮拉尼组合传感器。这款 StrataVac 适用于在广泛范围内运行的真空工艺。该组合可精确测量从粗真空到超高真空的真空度。

• 测量范围：7.6 × 10⁻¹⁰ 至 760 Torr（1 × 10⁻⁹ 至 1000 mbar）

• 精度范围：7.6 × 10⁻¹⁰ 至 10⁻³ Torr（1 × 10⁻⁹ 至 1000 mbar）±30%

组件  

• StrataVac控制器  

• 冷阴极/皮拉尼组合传感器  

优势  

• 在恶劣环境下具有长寿命  

• 低磁场干扰  

• 无需维护——压力表配备可更换插件  

• 可靠快速点火  

• 抗腐蚀馈通  

• 与阀门配合时支持PID控制  

应用领域

• 基础压力监测与控制：适用于蒸发和溅射涂层应用中的大气压至高真空环境

• 通用真空测量：工业炉、建筑玻璃、半导体、制冷与空调

• 分析与研发：质谱仪、电子显微镜、医疗眼科设备、光学及高能物理

冷阴极/皮拉尼组合压力计

将两个传感器系统集成到一个小型设备中，可在单一端口上可靠测量从大气压到7.6×10⁻¹⁰托（1×10⁻⁹毫巴）的真空度。冷阴极与皮拉尼组合选项可实现无缝过渡，提供可靠性、实用性和灵活性，适用于广泛的应用场景。可互换双腔传感器单元避免了清洁周期并减少维护，使其成为一款坚固真空计。