美国Gaertner Scientific斯托克斯微点型激光椭偏仪 LSE-MS

斯托克斯微点椭偏仪 LSE-MS 拥有一束直径15微米的测量激光，配备手动XY微米级定位台，并可通过相机在您的PC上观察测量区域。

LSE-MS椭偏仪采用StokesMeter™技术。该技术无需移动部件和调制器，即可快速、精确地确定以70°入射角入射的6328Å激光测量光束的完整偏振态。激光光源强度充足，可提高对吸收性薄膜和粗糙散射薄膜的测量精度。

激光光源还具有光谱精确、稳定和寿命长等额外优点。该仪器采用节省空间的设计，占地面积小，却能容纳宽达300毫米的大尺寸样品。样品台包含手动倾斜和台面高度调节功能，可通过计算机上的校准屏幕进行设置。

斯托克斯椭偏仪 LSE-MS 技术规格

• 对中/校准： 通过计算机校准屏幕手动调节倾斜度与工作台高度。

• 相机： 在您的PC上显示测量区域。

• 入射角： 70°。

• 测量方法： 采用先进的StokesMeter™技术，通过4个固定的硅探测器（无移动部件，无极光调制器）确定测量光束的完整偏振态，确保测量稳定且精确。

• 测量时间： 接近瞬时。

• 测量激光器： 6328Å（632.8 nm）氦氖气体激光器，测量光束直径1mm。

• 对中激光器： 670nm激光二极管。

• 样品（晶圆）尺寸： 宽度可达300 mm，长度不限。

• 工作台： XY手动定位台，带倾斜度与高度调节功能。

• 软件： 随附基于Windows™的LGEMP四层分析程序。

• 所需计算机： 带USB 2/3端口的Windows™台式机或笔记本电脑（不包含在供货范围内）。

• 薄膜厚度测量范围： 0 - 60,000 Å（基底上或1、2、3、4层已知底层上）。

• 精度与重复性： 在大部分测量范围内优于1 Å。

• 折射率测量精度： 在大部分测量范围内为±0.0005。

• 电源： 100V-240V，50-60Hz，1 A。

• 外形尺寸： 高16.5英寸 x 宽27.5英寸 x 深16英寸。

• 净重/毛重： 45磅 / 65磅（发货重量）。