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GCI E84 模拟器是用于开发、实施和验证符合 SEMI® E84™ 标准产品的测试设备。E84 模拟器提供自动化测试程序,用于测试有源和无源设备的并行输入/输出控制信号。SEMI® E84™ 标准定义了晶圆制造设施中自动物料搬运系统与生产设备之间传输过程中使用的控制信号。
E84 模拟器通过 USB 连接至基于 Microsoft® Windows 的笔记本电脑或台式电脑。E84 模拟器应用程序兼容 Windows XP、10 和 11。提供图形用户界面,支持有源和无源模拟的自动和手动测试模式。在自动测试模式下,可输入操作员姓名、测试日期和设备信息。有源模式测试套件用于验证工艺设备 E84 接口的性能。共有 20 项有源模式测试,操作员可单独启用或禁用。类似的被动模式测试套件可用于测试传输系统。
E84 模拟器设置工具界面
在自动测试模式下,可选择保存测试计划和结果。保存的文件包含格式化为可打印的 ASCII 文本文件。该文本文件包含操作员输入的所有设备信息,以及 E84 模拟器应用程序提供的每项测试相关信息。测试详情包括测试标题、结果、失败信息以及用户在测试过程中输入的任何备注。也可重新调用已保存的测试计划以继续测试。
手动测试模式提供一个操作界面,允许用户在连续显示并行输入信号状态的同时,切换并行输出信号的状态。
控制器规格参数
电源: 110V 或 220V AC,60 或 50 Hz,0.3A
接口:
USB 接口 (INT08001-USB)
ECP 并口
母头 DB-25 (INT08001)
有源实体接口:DB-25 公头
无源实体接口:DB-25 母头
E84 输入:
开启状态:10mA,最大 1.8V DC
关闭状态:200μA,最大 30V DC
E84 输出:
开启状态:最小灌电流 25mA,最大 1.8V DC
关闭状态:最大拉电流 100μA,最大 30V DC
+24V DC 电源电压测试:
带载:100mA ±5%
空载:<2mA ±5%
测量范围:18 - 30V DC ±5%
外形尺寸:
宽:159 mm (6.25")
深:203 mm (8.0")
高:45 mm (1.75")
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