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德国oeggmbh钻石晶圆划片机OEG MR-200

发布时间:2026-04-20人气:1

oeggmbh钻石晶圆划片机MR-200主要特点

准确的钻石划线器,适用于直径达200毫米的晶圆

书写晶圆片,尺寸从10 x 10mm及以上

特氟龙涂层晶圆夹和切割颗粒提取

可调划线角度、长度、高度和压力

通过单目望远镜和十字线进行精密划线对准

闭路电视视频系统和线宽测量选项

带90度定位的旋转卡盘

书写各种材料:硅、砷化镓、磷化铟、二氧化硅、玻璃等。


OEG生产MR-200手动钻石晶圆划线器,适用于大学、研发以及低批量高精度划线,

适用于10 x 10mm的样品,晶圆和基片直径可达200mm(8英寸)。

OEG的精密MR-200钻石晶圆划痕机是一种台式系统,可对包括晶圆(Si, GaAs, InP等)、

陶瓷、薄膜及光伏材料、厚膜基板、玻璃或硅组件等在内的器件进行精确划痕。

所有重要的操作参数,包括划线工具的角度、划线力和工具的触碰点,都可以精确调整,以确保结果的最佳灵活性和重复性。

在需要精确样品尺寸和网格的情况下,数字量规可以垂直于划线线进行测量。

一个在X-Y工作台上旋转的特氟龙涂层夹爪在划线过程中在真空下固定样品,同时排气装置提取划线后的颗粒。

高质量变焦光学系统,带有十字线标线和8×到40×的无级放大,能够精确对齐和调整划线根据边缘、结构和参考标记,

同时LED环形灯带亮度控制提供样品照明。视频系统,带有图像处理软件和线宽测量,可作为可选附件提供。


本文仅作产品功能介绍,具体规格请以官方最新信息为准。产品如有变更,恕不另行通知。图文仅供参考。


本文网址:http://coastchina.cn/show.asp?id=1886

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